[머니투데이 홍혜영기자]에스엔유프리시은 30일 빔스플리터를 포함한 광학장치에 관한 특허를 취득했다고 밝혔다.
에스엔유프리시전 측은 "광을 조사해 시료를 판독하는 광학 장치에 관한 것"이라며 "빔 스플리터의 광 투과율을 변경함으로써 광검출기와 광발생부의 기능을 선택적으로 조절해 검사장비의 동작 속도를 향상시킬 것"이라고 설명했다.
홍혜영기자 bigyima@
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